低溫等離子體(Plasma)應用已經(jīng)是一個具有全球影響的重要的科學與工程,對高科技經(jīng)濟的發(fā)展及傳統(tǒng)工業(yè)的改造有著巨大的影響。三分之一微電子器件設備采用等離子體技術;高分子材料百分之九十都要經(jīng)過低溫等離子體的表面處理和改性??茖W家預測:二十一世紀低溫等離子體科學與技術將會產(chǎn)生突破,低溫等離子體技術在半導體工業(yè)、聚合物薄膜、材料防腐蝕、等離子體電子學、等離子體合成、等離子體冶金、等離子體煤化工、等離子體三廢處理等領域對傳統(tǒng)工藝將有革命性的改變。
等離子體輔助加工被用來制造特種優(yōu)良性能的新材料、研制新的化學物質和化學過程,加工、改造和精制材料及其表面,具有極其廣泛的工業(yè)應用--從薄膜沉積、等離子體聚合、微電路制造到焊接、工具硬化、超微粉的合成、等離子體噴涂、等離子體冶金、等離子體化工、等離子體輔助加工目前已開辟的應用領域包括:
●半導體集成電路及其它微電子設備的制造
●工具、模具及工程金屬的硬化
●藥品的生物相溶性包裝材料的制備
●表面防蝕及其它薄層的沉積
●特殊陶瓷(包括超導材料,粉末)
●新的化學物質及材料的制造
●聚合物薄膜的印刷和制備
●有害廢物的處理
●磁記錄材料和光學材料
●精細加工
●照明及顯示
●電子電路及等離子體二極管開關
●等離子體化工(氫等離子體裂解煤制乙炔、等離子體煤氣化、等離子體裂解重烴、等離子體制炭黑、等離子體制電石等)
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